輪廓儀波紋度用測針DM47540

ACCRETECH/東京精密輪廓儀波紋度用測針DM47540

東京精密粗糙度儀、輪廓儀

為了不損害線性馬達(dá)的超低振動(dòng)特性，安裝在X軸驅(qū)動(dòng)部的手動(dòng)進(jìn)給機(jī)構(gòu)在實(shí)際測量時(shí)，自動(dòng)將手動(dòng)齒輪機(jī)構(gòu)與線性測量機(jī)構(gòu)的連結(jié)分離開來。這樣既確保了良好的操作性，又獲得了高精度。

實(shí)現(xiàn)世界突破性的高速測量

線性驅(qū)動(dòng)部與無效運(yùn)動(dòng)極少的以1/100秒為單位的聯(lián)合控制與啟動(dòng)響應(yīng)相結(jié)合，大幅縮短了總測量時(shí)間。進(jìn)行三維粗糙度測量時(shí)，測量時(shí)間為“傳統(tǒng)測量時(shí)間的1/10×測量線數(shù)"。測量時(shí)間短，室溫變化

等的測量誤差要素的影響就小，這直接關(guān)系到測量結(jié)果的可靠性。

NEX 系列的驅(qū)動(dòng)部配備了標(biāo)準(zhǔn)溫度補(bǔ)正系統(tǒng)，使精度保證溫度范圍從原來的20℃ ±2℃擴(kuò)大到了20℃ ±5℃。

以往，因?yàn)闇囟茸兓鸬臒崦浝淇s會(huì)使 X 方向的指示精度受到影響，現(xiàn)在內(nèi)置的溫度傳感器會(huì)根據(jù)實(shí)際的變化，自動(dòng)進(jìn)行補(bǔ)正。